ATTO10-R 高真空电阻热蒸发镀膜机

一、产品描述

       Atto10是经过验证的，坚固耐用的多功能设计标准方案。该系统可以手动和自动操作，具有广泛的沉积仪器选配，包括：电子束蒸发器，射频和直流溅射源，低温有机蒸发器和金属蒸发器。还有许多系统选项可用，如 石英晶体监测，高真空负载锁和加热，冷却，旋转或静态样品台。

       该系统具有高真空压力和抽空时间测试。具有先进编程能力的行业软件控制系统，系统的灵活性，它们可以被配置为溅射系统，电子束系统，OLED系统，热蒸发系统或这些过程的任何组合。可以集成各种光学和光谱技术，并将系统集成到需要惰性气氛的研究手套箱中。

二、功能特点

       多工位手套箱净化防护系统

       水氧含量≤0.1ppm

       德国宝德电磁阀模块化设计，优良的密封性能

       欧洲工艺要求

       宽压力范围运行到10 -9 Torr

       低排气

       优异的薄膜均匀性和沉积速率

       高效的溅射靶材利用率

       优异的目标管理机制消除了对热膏，管理人员等的需要。

       紧凑型，模块化磁体阵列

       磁铁未暴露于真空、磁铁未暴露于冷却水中

       靶材更换期间，冷却水不会暴露在真空室内

       不平衡的操作和带磁材料的兼容性是可用的

       全系列配件（通气，烟囱，百叶窗，集群阵列等）

       定制溅射源配置可用